オプション

マイクロスポットオプティクス

L116CMS
スポット径
16µmø
L116DMS
スポット径
10µmø以下

L116CMS(アナライザ部分)

L116CMSを装着した状態

LMシリーズ

全自動型測定器
オートフォーカス付属

LM115AF-WH
ウェハ搬送
LM300AF-WH
12インチ対応
LM106AF
大型基板用

Lシリーズ

世界の標準自動測定器

L115E
オートステージ
L116D
標準型
L106DS
大型基板用オートステージ
L106D
大型基板用

その他にも多種多様なタイプが有ります。

Sシリーズ

次世代型自動測定器

L116S
標準型
L115S
オートステージ
LSE
簡易型。コンパクト&低価格

アップグレード

オートフォーカス(AF)
オートチルト(AT)

LM115AF/T
L115タイプ用AF&AT改造キット
LM115AF
L115タイプ用AF改造キット

多彩なオプション

マイクロスポットオプティクス
L116CMS
16µmø
L116DMS
10µmø以下
ソフトウェア
MI-LINK
統合化プログラム
MI-BASE
データ管理オプション
3Dマップ
マッピングオプション

上記の他にも多種多様なオプションが有ります。お問い合わせください。