L115E

オートステージ自動エリプソメータ

(写真はL115Dのものです)

基本仕様

測定方式
デュアルモード・ローテイティングアナライザ方式
光源
He-Neレーザ (波長 6328Å)
測定角度
45, 50, 55, 60, 65, 70 °
ビーム径
1mmφ
測定精度
PSI
±0.03
DELTA
±0.06
膜厚誤差
±3Å (*)
屈折率誤差
±0.01 (*)
繰り返し再現性
±1Å (20回) (*)
測定時間
1ポイント
4秒 以下
5ポイント
1分 以下(ステージ動作含む)
試料台
ステージ径
8"(サンプルの直径200mmφ)
駆動軸
X-θ
チルト機構
X方向
移動量
0~100 mm
速度
20 mm/秒(最大)
分解能
0.01mm
θ方向
移動量
0~360°
速度
20° /秒(最大)
分解能
0.01°
スキャンパターン
プログラムにより、5又は9ポイント及びX-Yグリッドの測定が可能。
電源
100VAC (50/60Hz)
重量
42kg (本体のみ)
装置寸法
H18×W33×D15 inch(本体のみ)
*
Si上のSiO2(180 ,400 ,1000Å)を用いて測定を行った場合。
但し、屈折率の測定はSiO2(1000Å)のみとし、他は (Nf = 1.46)固定とする。

LMシリーズ

全自動型測定器
オートフォーカス付属

LM115AF-WH
ウェハ搬送
LM300AF-WH
12インチ対応
LM106AF
大型基板用

Lシリーズ

世界の標準自動測定器

L115E
オートステージ
L116D
標準型
L106DS
大型基板用オートステージ
L106D
大型基板用

その他にも多種多様なタイプが有ります。

Sシリーズ

次世代型自動測定器

L116S
標準型
L115S
オートステージ
LSE
簡易型。コンパクト&低価格

アップグレード

オートフォーカス(AF)
オートチルト(AT)

LM115AF/T
L115タイプ用AF&AT改造キット
LM115AF
L115タイプ用AF改造キット

多彩なオプション

マイクロスポットオプティクス
L116CMS
16µmø
L116DMS
10µmø以下
ソフトウェア
MI-LINK
統合化プログラム
MI-BASE
データ管理オプション
3Dマップ
マッピングオプション

上記の他にも多種多様なオプションが有ります。お問い合わせください。